MITSUHASHI CORPORATION

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AIREX クリーンエアーシャフト

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特長

  • エアーシャフトに特殊な防塵対策を施し、ラグを滑りの良い樹脂製にした発塵の少ないシャフトです。
  • クラス1000(※1)のクリーンルーム内で使用できます。
  • AIREXエアーシャフト標準タイプ(※2)全て対応できます。
  • クラス1000のクリーンルーム内でラグを拡縮させ、粒子径0.5μm以上の発塵量は100個/ft³以下を確認しています。

※1:アメリカ連邦規格Fed.Std. 209D(1ft³中に含まれる0.5µm以上の微粒子数 個/ft³)クラス1000とは、0.5µm以上の微粒子が空間中に1000個以下であることを示します。

※2:エアーシャフトシリーズの両持支持タイプ・片持支持タイプでシャフト外径2インチ~6インチを示します。

 
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